Research
Facilities
E-beam evaporator
공동연구기기동 601호
DKEES-4-4(대기하이텍)
E-beam lithography + SEM
물리관 105호
TESCAN MIRA(TESCAN)
Maskless Aligner(무마스크노광시스템)
물리관 105호
µMLA 마스크리스 얼라이너
(Heidelberg Instruments)
Photolithography System
공동연구기기동 603호
Labsys LIT-2000(넥스트론)
Reactive Ion Etching system 1(RF),2(LF)
공동연구기기동 601호
1(RF): COVANCE(femto science)
2(LF): CIONE6(femto science)
Tunable light source
공동연구기기동 601호
TLS130B-300X(Newport Corporation)
Vacuum Annealing System
공동연구기기동 601호
A-400
(WorldWide Innovative Technology-WWIT)
Vacuum probe station (cryogenic-N2)
공동연구기기동 601호
VPX-77KD
(WorldWide Innovative Technology-WWIT)
고온고압반응기
공동연구기기동 601호
HR-8300((주)한울 엔지니어링)
실험용박스로(Furnace)
공동연구기기동 601호
C-14P(한테크)