Research

Facilities

2D material transfer system

공동연구기기동 603호

NEW 2D trasfer system (HQ graphene)

Atomic Force Microscopy

공동연구기기동 601호

NX7(Park Systems)

E-beam evaporator

공동연구기기동 601호

DKEES-4-4(대기하이텍)

E-beam lithography + SEM

물리관 105호

TESCAN MIRA(TESCAN)

Maskless Aligner(무마스크노광시스템)

물리관 105호

µMLA 마스크리스 얼라이너
(Heidelberg Instruments)

Photolithography System

공동연구기기동 603호

Labsys LIT-2000(넥스트론)

Reactive Ion Etching system 1(RF),2(LF)

공동연구기기동 601호

1(RF): COVANCE(femto science)
2(LF): CIONE6(femto science)

Semiconductor Analyzer

공동연구기기동 601호

4200-SCS(Keithley)

Tunable light source

공동연구기기동 601호

TLS130B-300X(Newport Corporation)

Vacuum Annealing System

공동연구기기동 601호

A-400
(WorldWide Innovative Technology-WWIT)

Vacuum Probe Station

공동연구기기동 601호

MSCH-5000(MS TECH)

Vacuum probe station (cryogenic-N2)

공동연구기기동 601호

VPX-77KD
(WorldWide Innovative Technology-WWIT)

고온고압반응기

공동연구기기동 601호

HR-8300((주)한울 엔지니어링)

실험용박스로(Furnace)

공동연구기기동 601호

C-14P(한테크)