E-beam evaporator
공동연구기기동 601호
DKEES-4-4
E-beam lithography + SEM
물리관 105호
TESCAN MIRA(123-0128)
Maskless Aligner(무마스크노광시스템)
물리관 105호
UMBAS-UMRAS-UMWM2
Photolithography System
공동연구기기동 603호
넥스트론, Labsys LIT-2000
Reactive Ion Etching system 1(RF),2(LF)
공동연구기기동 601호
FT23-073(COVANCE), FT25-004(CIONE6)
Vacuum Annealing System
공동연구기기동 601호
TLS130B-300X
Vacuum Annealing System
공동연구기기동 601호
A-400
Vacuum probe station (cryogenic-N2)
공동연구기기동 601호
VPX-77KD
고온고압반응기
공동연구기기동 601호
HW-220104-DJ01
실험용박스로(Furnace)
공동연구기기동 601호
한테크, C-14P